ITO靶材的制備工藝 

　　本項目采用清華大學化工聯合國家重點實驗室最新研發的注漿-氣氛燒結法先進生產工藝制備納米氧化銦錫高性能靶材，同時項目在納米氧化銦錫前驅體制備階段創造性地采用了微反應器技術。主要工藝如下：