ITO靶材是什么?
發布時間:2017/11/16
ITO靶材就是氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經過一系列的生產工藝加工成型,再高溫氣氛燒結(1600度,通氧氣燒結)形成的黑灰色陶瓷半導體。ito薄膜是利用ITO靶材作為原材料,通過磁控濺射把ITO靶氣化濺渡到玻璃基板或柔性有機薄膜上。ITO薄膜具有導電性和透光性,厚度一般30納米--200納米。