濺射時ITO靶材產生裂紋的原因
發布時間：2017/11/16
1：ito靶材的材質，最主要是冷卻效果的好壞，不知道你的冷卻條件怎么樣，如果不行，就需要改善了。
2：焊靶時靶塊之間要留有縫隙，否則啟輝發熱會裂。冷卻水要暢通，且充分
